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2 | Thickness, A | Index @632.8nm | Thickn. Uniformity, % | ||||||||||||||
3 | Min | Max | Min | Max | Comment/Mike SIlva | ||||||||||||
4 | Date | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | Thickness Uniformity, % | |||||||||||
5 | 09-05-19 | 3278.20 | 3147.60 | 1.473 | 1.472 | 97.97 | Thicker in the center | ||||||||||
6 | 09-06-19 | 3280.13 | 3155.33 | 1.472 | 1.472 | 98.06 | Thicker in the center | ||||||||||
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18 | Average: | 3279.17 | 3151.47 | 1.473 | 1.472 | 98.01 | |||||||||||
19 | Avg.+2% | 3344.75 | 3214.49 | 1.502 | 1.501 | ||||||||||||
20 | Avg.-2% | 3213.58 | 3088.44 | 1.443 | 1.443 | ||||||||||||
21 | Max | 3280.13 | 3155.33 | 1.473 | 1.472 | #REF! | |||||||||||
22 | Min | 3278.20 | 3147.60 | 1.472 | 1.472 | #REF! | |||||||||||
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