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1 | Timestamp | Name | Project | Time Start | Crystal (%) | Substrate Material | Source Material | Boat Type | film # | Density (g/cm^3) | Tooling Factor | Z Ratio | Roughing: 1E1 min. | Roughing: 1E0 | Roughing: 1E-1 | Cryopump: 1E-4 | Cryopump: 1E-5 | Pressure during deposition (micro torr) | Evaporation Rate (A/s) | Voltage (V) | Current on gauge (A) | Final Film Thickness (A) | Cryopump: Max/Min Temp- erature (K) | N2: Final Tank Pres (psi) | Time Finish | Notes | |||||||||||
2 | 476 | 9/11 | David Allred | 245 | 9:45 AM | 0 | glass | LaF3 | ceramic coil | 5 | 6 .0 | 0.92 | 0.637 | 6 | 7 | 32 | 32 | 2732 | 11.5/10 | 2000 | 10 a.am | Base pres was 5.7 e-7; used boat in righthand= thor power supply. ellipso thickne 343 nm | |||||||||||||||
3 | 477 | 9/17 | David Allred | 245 | 3:00 PM | 0 | glass | Al | coil | 1 | 2.7 | 30 | 0.2 | 150 | 5 | 15 | 11.5 | 1900 | 1650 | ellipso thickness in centerr was 343nm | |||||||||||||||||
4 | 478 | 9/17 | David Allred | 245 | 340 PM | 0 | glass | LaF3 | ceramic coil | 5 | 6 | 0.92 | 0.637 | 30 | 3-7 | 180 | 5 | 1699 | 11.5 | 1350 | BP=1 e 5- thickness in middle was 125nm by ellipso; BTW, the thickness monitro gave 1770 angs after air exposure. | ||||||||||||||||
5 | 479 | 9/18 | David Allred | 245 | 5 | 0 | prvioue | LaF4 | ceramic coil | 5 | 6 | 0.92 | 0.637 | 1-8 | .1 to 3.7 | 180 | 1.4 | 1903 | 12/10 | 1250 | BP=1 e-6; evap starts at 135 V. rasie to 155 V rate =0.6 a/s. raise to 170 V; rate = 0.17nm/s; raise to 180 rate= 0.34 nm/s; rasie to 185 V rate= 0.37; reaches 190.7 nm as system cools.n upom venting goes to 229 nm after pump down goes back to 203 actual 161.3 nm in center | ||||||||||||||||
6 | 480 | 9/19 | David Allred | 245 | 12.3 | 0 | glass | Al | coil | 1 | 2.7 | 0.576 | 1.08 | 2.5 | 3.3 | 5.5/8 | 3 | 9 to 4 e-5 | 30 | 0.2 | 150 | 5 | 15 | 11.5 | 1250 | 1650 | ellipso thickness in centerr was | ||||||||||
7 | 481 | 9/19 | David Allred | 245 | 340 PM | 0 | glass | LaF3 | ceramic coil | 5 | 6 | 0.92 | 0.637 | 90 | 10 to 19 | 3-7 | 180 | 5 | 247 | 11-12.5 | 1150 | 1500 | BP=evap started at 140V (slow) at 180V 0.16nm/s at 190 30.37nm/s;@200 0.5nm/s; e 5- thickness in middle was 125 nm by ellipso; BTW, the thickness monitro gave 249/25 nms beforeafter air exposure. | ||||||||||||||
8 | 2200 0.5nm/s | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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