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2 | File created for efficient co-editing of a manuscript in VPHA, Virtual Project on the History of ALD, http://vph-ald.com | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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5 | co-author: | Akbashev | Berdova | Cameron | Cremers | Devi | Elnikova | Gottardi | Grigoras | Jen | Kim | Klibanov | Kuhs | Kääriäinen | Lapicki | Leskelä | Lipsanen | Malkov | Norek | Ozgit-Akgun | Pedersen | Piallat | Popov | Puurunen | Rauwel | Salami | Schneider | Sundqvist | van Ommen | Ylivaara | Yurkevich | ||||
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9 | No. | Part in the manuscript | Text | Comments by all co-authors | |||||||||||||||||||||||||||||||
10 | Akbashev | Berdova | Cameron | Cremers | Devi | Elnikova | Gottardi | Grigoras | Jen | Kim | Klibanov | Kuhs | Kääriäinen | Lapicki | Leskelä | Lipsanen | Malkov | Norek | Ozgit-Akgun | Pedersen | Piallat | Popov | Puurunen | Rauwel | Salami | Schneider | Sundqvist | van Ommen | Ylivaara | Yurkevich | |||||
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12 | Abstract | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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14 | I | Intro, 1 | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
15 | Intro, 2 | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
16 | Intro, 3 | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
17 | Intro, 3 | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
18 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
19 | II A | Methods, A - ALD-history-evolving-file | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
20 | II B | Methods, B - voting | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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22 | III | Results - before table | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
23 | Results - table | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
24 | Some characteristics of molecular layering reactions, Aleskovskii, Kol'tsov, 1965, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
25 | Interaction of titanium and germanium tetrachlorides with hydrated silica, Shevjakov, Kuznetsova, Aleskovskii, 1967, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
26 | Preparation and investigation of the products of interaction between titanium tetrachloride and silica gel, Kol'tsov, 1969, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
27 | Preparation and investigation of the chemical composition of the products formed by successive chemisorption of titanium and phosphorus chlorides on the surface of silica gel, Kol'tsov, Volkova, Aleskovskii, 1969, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
28 | Measuring thicknesses of ultra-thin silicon oxide films deposited by molecular layering on the surface of single crystal silicon using polarization method, Sveshnikova, Kol'tsov, Aleskovskii, 1969, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
29 | Formation of a silica layer of predetermined thickness on silicon by the molecular-layering method, Sveshnikova, Kol'tsov, Aleskovskii, 1970, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
30 | Interaction of titanium tetrachloride with hydroxylated silicon surfaces, Sveshnikova, Kol'tsov, Aleskovskii, 1970, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
31 | Synthesis of solids by the Molecular Layering Method, Kol’tsov, 1971, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
32 | Chemistry and technology of solids, Aleskovskii, 1974, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
33 | Chemical assembly of materials, Aleskovskii, 1975, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
34 | Method and apparatus for the growth of compound thin films, Suntola, Antson, 1976, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
35 | Synthesis and study of oxide coatings obtained by molecular layering on semiconductor surfaces, Drozd, 1978, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
36 | Method and equipment for deposition of compound thin films. Suntola, Pakkala, Lindfors, 1980, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
37 | Atomic layer epitaxy for producing EL thin films, Suntola, Antson, Pakkala, Lindfors, 1980, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
38 | A study of ZnTe films grown on glass substrates using an atomic layer evaporation method, Ahonen, Pessa, Suntola, 1980, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
39 | Atomic Layer Epitaxy , Suntola, 1981, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
40 | Possibility of the use of a gravimetric method for studying the process of molecular layering in disperse silica samples, Tolmachev, 1982, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
41 | Quantum chemical studies of the formation of zinc sulfide surface by the ALE technique, Pakkanen, Lindblad, Nevalainen, 1984, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
42 | Atomic Layer Epitaxy, Suntola, Hyvärinen, 1985, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
43 | Atomic layer epitaxy of III-V binary compounds, Bedair, Tischler, Katsuyama, El-Masry, 1985, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
44 | Molecular Layer Epitaxy, Nishizawa, Abe, Kurabayashi, 1985, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
45 | Atomic layer epitaxy, Goodman, Pessa, 1986, Ref X | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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47 | IV | Discussion, 1 | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
48 | Discussion, 2 | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
49 | Discussion, 3 | <copy text here when submitting to all> | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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51 | V | Summary and Conclusions | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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53 | - | Acknowledgements | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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55 | - | Reference list | <copy text here when submitting to all> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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