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1 | Date | Film | Recipe | Subs. T | Coat.time | Dep.time | Thickness | JAW EC-400 (Woolam S.E.) | Avg Index | Dep.rate | Avg.dep. rate | BHF e.r. | Stress | Avg Stress | LPD (gain4) paricle size (0.16-1.6)um | Haze, for Gain 4 | LPD (gain2) particle size (1.6-28.0)um | Photos | Photos | Comment/Brian Ling maintenance | |||||
2 | °C | min | min | (nm) | Index @ 632.8nm | Index @ 1550nm | Index @ 632.8nm | (nm/min) | (nm/min) | (nm/min) | MPa | Before deposition | After deposition | % | Before deposition | After deposition | Surfscan | Opt.micr. DF | 4"Si wafer placed in the center of platen | ||||||
3 | Oxide | Index | Avg.Index | Dep.rate | Avg.dep.rate | Stress | Avg.Stress | Maintenance | |||||||||||||||||
4 | 11/02/18 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 390.64 | 1.471 | 1.461 | 1.475 | 39.06 | 31.03 | 405.54 | -266.27 | -273.88 | 2 | 359 | 42 | 1 | 241 | Good! | DF-no particles | wafer moved during deposition | ||
5 | 01/22/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 363.76 | 1.472 | 1.461 | 1.475 | 36.38 | 31.03 | 560.56 | -224.20 | -273.88 | no data | no data | no data | no data | no data | Mike replaced inulator on 2/7/19 | ||||
6 | 02/11/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 301.60 | 1.475 | 1.464 | 1.475 | 30.16 | 31.03 | 430.46 | -274.39 | -273.88 | no data | no data | no data | no data | no data | wafer moved during dep. toward BR corner | ||||
7 | 03/05/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 273.03 | 1.475 | 1.465 | 1.475 | 27.30 | 31.03 | 494.20 | -291.05 | -273.88 | 36 | 3332 | 90 | 22 | 178 | Good | not done | Showerhead pattern! | ||
8 | 04/02/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 272.05 | 1.476 | 1.465 | 1.475 | 27.21 | 31.03 | 494.59 | -291.01 | -273.88 | 25 | 199 | 98 | 3 | 80 | very few big partciles | done, OK | Looks good | ||
9 | 05/03/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 273.96 | 1.475 | 1.465 | 1.475 | 27.40 | 31.03 | 498.02 | -281.41 | -273.88 | 213 | 633 | 77 | 47 | 329 | Good | done, OK | Looks good | ||
10 | 06/03/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 292.80 | 1.478 | 1.463 | 1.475 | 29.28 | 31.03 | 490.12 | -265.83 | -273.88 | 115 | 340 | 51 | 9 | 43 | Good | OK | Looks good | ||
11 | 08/06/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 303.49 | 1.475 | 1.462 | 1.475 | 30.35 | 31.03 | 444.46 | -264.91 | -273.88 | 35 | 295 | no data | 25 | 190 | Good | done, OK | No showerhead pattern | ||
12 | 09/17/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 297.87 | 1.474 | 1.463 | 1.475 | 29.79 | 31.03 | 450.90 | -270.58 | -273.88 | no data | no data | no data | no data | no data | Good | done, OK | No showerhead pattern | ||
13 | 10/07/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 318.85 | 1.475 | 1.462 | 1.475 | 31.89 | 31.03 | 447.62 | -301.86 | -273.88 | 133 | 239 | 1 | 11 | 35 | Good | done, OK | Throttle valve changed 9/24/19 | ||
14 | 11/04/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 324.57 | 1.474 | 1.462 | 1.475 | 32.46 | 31.03 | 424.88 | -289.81 | -273.88 | 172 | 818 | 1 | 39 | 81 | Good | done, OK | No showerhead pattern | ||
15 | 12/02/19 | SiO2 | STD oxide | 300 | 10 | 10 | 311.58 | 1.475 | 1.464 | 1.475 | 31.16 | 31.03 | 437.40 | -265.23 | -273.88 | 113 | 739 | 1 | 31 | 117 | Good | done, good | Some showerehead pattern (not much) | ||
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18 | Avg Thickness | 310.35 | 464.90 | ||||||||||||||||||||||
19 | Avg Index | 1.475 | 1.463 | 31.03 | Avg Stress | -273.88 | |||||||||||||||||||
20 | Index+1% | 1.489 | 1.478 | 34.14 | Avg+30% | -356.04 | |||||||||||||||||||
21 | Index-1% | 1.460 | 1.448 | 27.93 | Avg-30% | -191.72 | |||||||||||||||||||
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