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1 | Date | Name | Project | Start Time | Substrate | Process | Throttle SRC1 | Setting SRC3 | SRC3 Precursor: DoseTime (ms) | SRC3 Precursor: Purge Time (ms) | SCR3: Num Doses | SRC1 Precursor: Dose Time (ms) | SRC1 Precursor: Purge Time (ms) | SRC1: Num Doses | Number of Cycles | Finish Time | Notes | ||||||||
2 | 2/28/2024 | Tyler Brady | Training | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 10 | 10:15 PM | Davis Training | ||||||||||
3 | 3/6/2024 | Giovanni Ruiz | Al Depo | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 8 | 11:00 AM | |||||||||||
4 | 3/6/2024 | Tyler Brady | Testing TMA | 12:00 | Si | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 30 | 2:00 PM | Everything functions | ||||||||||
5 | 3/7/24 | Robert Davis | Al Depo | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 20 | 9:30 AM | |||||||||||
6 | 3/7/24 | Giovanni Ruiz | Al Depo | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 20 | 9:40 AM | |||||||||||
7 | 3/18/24 | Giovanni Ruiz | Al Depo | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 20 | 9:40 AM | |||||||||||
8 | 3/18/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 20 | 11:40 AM | |||||||||||
9 | 3/20/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 20 | 11:00 AM | |||||||||||
10 | 3/20/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 10 | 11:40 AM | |||||||||||
11 | 3/20/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 5 | 11:40 AM | |||||||||||
12 | 3/20/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 15 | 1:00 PM | |||||||||||
13 | 3/29/24 | Josh Hancock | Al Depo | 12:00 PM | CNTs | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 30 | 12000 | 30 | 18000 | 150 | 4:20 PM | |||||||||||
14 | 4/1/24 | Giovanni Ruiz | Al Depo | 8:00 AM | Sillicon/Brazed SS&Cu | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 20 | ||||||||||||
15 | 4/5/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 15 | 11:00 AM | |||||||||||
16 | 4/5/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 10 | 1000 | 150 | 10000 | 10 | 11:00 AM | |||||||||||
17 | 4/5/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 5 | 12:00 PM | |||||||||||
18 | 4/24/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 30000 | 20 | 11:00 AM | |||||||||||
19 | 4/24/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 5 | 11:00 AM | |||||||||||
20 | 4/24/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 10 | 2:00 PM | |||||||||||
21 | 4/24/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 2:00 PM | |||||||||||
22 | 5/6/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 11:00 AM | |||||||||||
23 | 5/6/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 11:00 AM | |||||||||||
24 | 5/7/24 | Tyler Brady | BDMADMS | 10:00 AM | Sillicon | BDMADMS | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 50 | 5:30 PM | |||||||||||
25 | 5/8/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 20 | 11:00 AM | |||||||||||
26 | 5/8/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 3:00 PM | |||||||||||
27 | 5/8/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 5 | 5:00 PM | |||||||||||
28 | 5/9/24 | Tyler Brady | BDMADMS | 12:00 PM | Sillicon | BDMADMS | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 150 | 5:30 PM | |||||||||||
29 | 5/14/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 20 | 1:00 PM | |||||||||||
30 | 5/14/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 3:00 PM | |||||||||||
31 | 5/16/24 | Joshua Brady | Fe(Cp)2 | 9:00 AM | Sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 40 | 5:00 PM | |||||||||||
32 | 5/17/24 | Tyler Brady | Fe(Cp)2 | 9:00 AM | Sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 40 | 5:00 PM | |||||||||||
33 | 5/20/24 | Joshua Brady | Fe(Cp)2 | 10:00 AM | sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 3 | 1:pm | |||||||||||
34 | 5/21/24 | Joshua Brady | Fe(Cp)2 | 12:00 PM | sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 45 | 5:00 PM | |||||||||||
35 | 5/14/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | :00:00 PM | |||||||||||
36 | 5/23/24 | Tyler Brady | Al Depo | 9:30 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | nN/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 160 | 5:00 PM | |||||||||||
37 | 5/28/24 | Joshua Brady | Al Depo | 11:00 AM | TMA/water (Al2O3) | n/a | N/A | 150 | 30000 | 150 | 30000 | 100 | 5:pm | ||||||||||||
38 | 5/29/24 | Samira | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 15 | 3:00 PM | |||||||||||
39 | 06/03/24 | Joshua Brady | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 75 | 25000 | 75 | 15000 | 2000 | 10:00 AM | |||||||||||
40 | 06/05/24 | Rob Davis | SS_Nuc | 14:15 | Silicon + SS | TMA/water (Al2O3) | ​ | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 550 | 8:48 AM | ||||||||||||
41 | 06/07/24 | Joshua Brady | Al Depo | 10:00 AM | Sillicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 2250 | 10:00 AM | |||||||||||
42 | 6/11/24 | Tyler Brady | Ferrocine | 10:00 AM | Sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 36 | 8:00 PM | |||||||||||
43 | 6/12/24 | Tyler Brady | Ferrocine | 10:00 AM | Sillicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 72 | 8:00 PM | |||||||||||
44 | 6/13/24 | Joshua Brady | Fe(Cp)2 | 1:00 PM | Silicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 14 | 3:00 PM | |||||||||||
45 | 7/6/24 | Tyler Brady | Fe(Cp)2 | 11:00 AM | Silicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 29 | ||||||||||||
46 | 7/7/2024 | Tyler Brady | Fe(Cp)2 | 11:00 AM | Silicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | N/A | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 186 | 12:30 | |||||||||||
47 | 7/8/24 | Rob Davis | SS_Nuc | 7:00 PM | Silicon + SS | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 150 | 60000 | 150 | 60000 | 550 | 1:47 PM | |||||||||||
48 | 7/15/24 | Tyler Brady | 3DMAS | 10:00 AM | Sillicon + Alumina | 3DMAS + O3 | N/A | N/A | 500 | 5000 | 10000 | 10000 | 130 | 5:00 PM | |||||||||||
49 | 7/18/2024 | Samira Jafari | Al thin film | 09::00 AM | Silicon | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 250 | 60000 | 500 | 60000 | 3 | 6:00 PM | |||||||||||
50 | 7/18/2024 | Tyler Brady | 3DMAS | 7:00 PM | Silicon | 3DMAS Ozone | Vary | Vary | Vary | Vary | 120 | ||||||||||||||
51 | 7/22/2024 | Tyler Brady | 3DMAS | 9:00 AM | Silicon | 3DMAS Ozone | N/A | N/A | Vary | Vary | Vary | Vary | 120 | 4:30 PM | |||||||||||
52 | 3/29/24 | Josh Hancock | Al Depo | 2:00:00 PM | CNTs | TMA/water (Al2O3) | N/A | N/A | 30 | 12000 | 30 | 18000 | 150 | 6:00 PM | |||||||||||
53 | 07/31/24 | Joshua Brady | 3dmas | 12:00 PM | silicon | 3DMAS Ozone | n/a | n/a | 800 | vary | 10000 | 10000 | 30 | 4:00 PM | |||||||||||
54 | 8/2/24 | Rob Davis | 3dmas | 5:00 PM | SS | 3DMAS Ozone | n/a | n/a | 10000 | 10000 | 10000 | 10000 | 550 | 11:00 PM | |||||||||||
55 | 08/12/24 | Joshua Brady | Fe(cp)2 | 12:00 PM | silicon | Fe(Cp)2/O3 | N/A | n/a | 40000 | 30000 | 240000 | 30000 | 50 | 4:00 PM | |||||||||||
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62 | Insert above this row | ​ | ​ | ​ | ​ | Cycles Since water changed | 7991 | ||||||||||||||||||
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