A | B | O | P | Q | R | |
---|---|---|---|---|---|---|
1 | ||||||
2 | LPD- light particle detection (sum of the all particles) | |||||
3 | Gain4 | Gain 2 | ||||
4 | Date | Film | Particles from film only | |||
5 | Oxide~300nm | LPD ad-LPD bd | LPD ad-LPD bd | |||
6 | Date | Oxide | Oxide | |||
7 | 13-Nov-17 | Oxide | 6412 | 35 | ||
8 | 28-Nov-17 | Oxide | 3201 | 21 | ||
9 | 25-Jan-18 | Oxide | 106 | 41 | ||
10 | 23-Feb-18 | Oxide | 24156 | 207 | ||
11 | 26-Feb-18 | Oxide | 11271 | 32 | ||
12 | 13-Apr-18 | Oxide | 9979 | 89 | ||
13 | 09-May-18 | Oxide* | 495 | 24 | ||
14 | 13-Jun-18 | Oxide | 558 | 71 | ||
15 | 14-Aug-18 | Oxide | 163 | 66 | ||
16 | 8-Oct-18 | Oxide | 1409 | 54 | ||
17 | 2-Nov-18 | Oxide | 357 | 240 | ||
18 | ||||||
19 | Max | 24156 | 207 | |||
20 | Min | 106 | 21 | |||
21 | Nitride2~300nm | Nitride 2 | Nitride 2 | |||
22 | 13-Nov-17 | Nitride 2 | 10484 | 44 | ||
23 | 28-Nov-17 | Nitride 2 | 9933 | 63 | ||
24 | 25-Jan-18 | Nitride 2 | 162 | 37 | ||
25 | 23-Feb-18 | Nitride 2 | ||||
26 | 26-Feb-18 | Nitride 2 | ||||
27 | 13-Apr-18 | Nitride 2 | 8166 | 24 | ||
28 | 09-May-18 | Nitride 2 | 560 | 21 | ||
29 | 13-Jun-18 | Nitride 2 | 146 | 47 | ||
30 | 14-Aug-18 | Nitride 2 | 94 | 48 | ||
31 | 8-Oct-18 | Nitride 2 | 310 | 95 | ||
32 | 2-Nov-18 | Nitride 2 | 72 | 43 | ||
33 | ||||||
34 | Max | 10484 | 63 | |||
35 | Min | 146 | 21 | |||
36 | LS Nitride2~300nm | LS Nitride2 | LS Nitride2 | |||
37 | 13-Nov-17 | LS Nitride2 | 5243 | 17 | ||
38 | 28-Nov-17 | LS Nitride2 | 3603 | 27 | ||
39 | 25-Jan-18 | LS Nitride2 | 128 | 39 | ||
40 | 23-Feb-18 | LS Nitride2 | ||||
41 | 26-Feb-18 | LS Nitride2 | ||||
42 | 13-Apr-18 | LS Nitride2 | 4268 | 16 | ||
43 | 09-May-18 | LS Nitride2 | 886 | 37 | ||
44 | 13-Jun-18 | LS Nitride2 | 235 | 145 | ||
45 | 14-Aug-18 | LS Nitride2 | 394 | 43 | ||
46 | 8-Oct-18 | LS Nitride2 | 105 | 26 | ||
47 | 2-Nov-18 | LS Nitride2 | 52 | 70 | ||
48 | ||||||
49 | Max | 5243 | 145 | |||
50 | Min | 128 | 16 | |||
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