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2 | Thickness, 3000(Å) | Index @632.8nm | ||||||||||||||||
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4 | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | 4" Si Wafer | |||||||||||||
5 | Date | Min | Max | Min | Max | Thickness Uniformity % | ||||||||||||
6 | 08-07-17 | 3074.69 | 3132.13 | 1.937 | 1.940 | 99.07 | Film thinner in the center | |||||||||||
7 | 08-22-17 | 3082.10 | 3169.70 | 1.929 | 1.934 | 98.60 | Film thinner in the center | |||||||||||
8 | 09-05-17 | 3055.93 | 3139.49 | 1.937 | 1.942 | 98.65 | Film thinner in the center | |||||||||||
9 | 10-23-17 | 3017.15 | 3049.36 | 1.936 | 1.940 | 99.47 | Film thinner in the center | |||||||||||
10 | 11-15-17 | 3075.57 | 3017.83 | 1.949 | 1.954 | Film thicker in the center | ||||||||||||
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17 | Average: | 3061.09 | 3101.70 | 1.938 | 1.942 | 98.95 | ||||||||||||
18 | Avg. +2% | 3122.31 | 3163.74 | 1.976 | 1.981 | |||||||||||||
19 | Avg. -2% | 2999.87 | 3039.67 | 1.899 | 1.903 | |||||||||||||
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21 | Max | 3082.10 | 3169.70 | 1.949 | 1.954 | 99.47 | ||||||||||||
22 | Min | 3017.15 | 3017.83 | 1.929 | 1.934 | 98.60 | ||||||||||||
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