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1 | Films:1000A of SiN and 1000A of SiO2 | LPD count, All size particles (0.160-1.600)um | Delta(All size particles) | Gain4 [LPD#1( 0.160-0.213)um] | Delta(particles #1) | Comments | ||||||||
2 | Date | Film | Time(sec) | Tool | LPD before deposition | LPD after depsotion | LPD(ad)-LPD(bd) | LPD before deposition | LPD after deposition | LPD(ad)-LPD(bd) | ||||
3 | Date | ~1000A | Particles in SiO2 | |||||||||||
4 | 11/18/16 | SiO2 | 167.8 | PECVD1 | 22 | 90 | 68 | 2 | 22 | 20 | ||||
5 | 12/14/16 | SiO2 | 167.8 | PECVD1 | 97 | 242 | 145 | 19 | 110 | 91 | ||||
6 | 2/27/17 | SiO2 | 146.3 | PECVD1 | 81 | 143 | 62 | 22 | 74 | 52 | ||||
7 | 4/11/17 | SiO2 | 146.3 | PECVD1 | 23 | 136 | 113 | 5 | 36 | 31 | ||||
8 | 5/19/17 | SiO2 | 146.3 | PECVD1 | 102 | 235 | 133 | 19 | 64 | 45 | ||||
9 | 6/16/17 | SiO2 | 146.3 | PECVD1 | 44 | 149 | 105 | 18 | 43 | 25 | ||||
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17 | max ΔLPD | 145 | 91 | |||||||||||
18 | min ΔLPD | 62 | 20 | |||||||||||
19 | ~1000A | Particles in SiN | ||||||||||||
20 | 11/18/16 | Si3N4 | 568.1 | PECVD1 | 0 | 1031 | 1031 | 0 | 102 | 102 | ||||
21 | 12/14/16 | Si3N4 | 568.1 | PECVD1 | 187 | 1274 | 1087 | 56 | 219 | 163 | ||||
22 | 2/27/17 | Si3N4 | 517.2 | PECVD1 | 66 | 426 | 360 | 128 | 226 | 98 | ||||
23 | 4/11/17 | Si3N4 | 517.2 | PECVD1 | 7 | 144 | 137 | 2 | 28 | 26 | ||||
24 | 5/19/17 | Si3N4 | 517.2 | PECVD1 | 282 | 641 | 359 | 58 | 183 | 125 | ||||
25 | 6/16/17 | Si3N4 | 517.2 | PECVD1 | 2 | 175 | 173 | 1 | 31 | 30 | ||||
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34 | max ΔLPD | 1087 | 163 | |||||||||||
35 | min ΔLPD | 137 | 26 | |||||||||||
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