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2 | Thickness, A | Index @632.8nm | Thickn. Uniformity, % | Comment | Observation | ||||||||||||
3 | Max | Min | Min | Max | |||||||||||||
4 | Date | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | Thickness Uniformity, % | |||||||||||
5 | 02-07-17 | 2488.12 | 2451.87 | 1.976 | 1.977 | 99.27 | Film thicker in the center | ||||||||||
6 | 02-27-17 | 2366.54 | 2332.15 | 2.007 | 2.009 | 99.27 | Film thicker in the center | ||||||||||
7 | 04-19-17 | 2341.52 | 2290.03 | 1.985 | 1.988 | 98.89 | Film thicker in the center | ||||||||||
8 | 05-22-17 | 2380.01 | 2379.28 | 1.988 | 1.988 | 99.98 | Film thicker in the center | ||||||||||
9 | 06-16-17 | 2349.54 | 2328.35 | 1.997 | 2.000 | 99.55 | Film thicker in the center | ||||||||||
10 | 08-07-17 | 2547.00 | 2512.87 | 1.982 | 1.983 | 99.33 | Film thicker in the center | ||||||||||
11 | 08-22-17 | 2544.12 | 2540.43 | 1.982 | 1.982 | 99.93 | Film thicker in the center | ||||||||||
12 | 09-05-17 | 2492.46 | 2455.22 | 1.984 | 1.985 | 99.25 | Film thicker in the center | ||||||||||
13 | 10-25-17 | 2441.90 | 2392.52 | 1.995 | 1.996 | 98.98 | Film thicker in the center | ||||||||||
14 | 11-13-17 | 2404.11 | 2357.42 | 1.989 | 1.991 | 99.02 | Film thicker in the center | ||||||||||
15 | 11-28-17 | 2354.83 | 2278.87 | 1.981 | 1.985 | 98.36 | Film thicker in the center | ||||||||||
16 | |||||||||||||||||
17 | Average | 2428.20 | 2392.64 | 1.988 | 1.989 | 99.26 | |||||||||||
18 | Avg.+2% | 2476.76 | 2440.49 | 2.028 | 2.029 | ||||||||||||
19 | Avg.-2% | 2379.63 | 2344.78 | 1.948 | 1.950 | ||||||||||||
20 | Max | 2547.00 | 2540.43 | 2.007 | 2.009 | 99.98 | |||||||||||
21 | Min | 2341.52 | 2278.87 | 1.976 | 1.977 | 98.36 | |||||||||||
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