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2 | Thickness, A | Index @632.8nm | Thickn. Uniformity, % | ||||||||||||||
3 | Min | Max | Min | Max | Comment/Mike SIlva | ||||||||||||
4 | Date | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | Thickness Uniformity, % | |||||||||||
5 | 01-21-20 | 2984.70 | 2608.84 | 1.852 | 1.854 | 93.28 | Thicker in the center | ||||||||||
6 | 02-18-20 | 2963.01 | 2751.85 | 1.838 | 1.836 | 96.31 | Thicker in the center | ||||||||||
7 | Thicker in the center | ||||||||||||||||
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18 | Average: | 2973.86 | 2680.35 | 1.845 | 1.845 | 94.79 | |||||||||||
19 | Avg.+2% | 3033.33 | 2733.95 | 1.882 | 1.882 | ||||||||||||
20 | Avg.-2% | 2914.38 | 2626.74 | 1.808 | 1.808 | ||||||||||||
21 | Max | 2984.70 | 2751.85 | 1.852 | 1.854 | 96.31 | |||||||||||
22 | Min | 2963.01 | 2608.84 | 1.838 | 1.836 | 93.28 | |||||||||||
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