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1 | 99.45911371 | |||||||||||||||||
2 | Thickness, A | Index @632.8nm | Thickness Uniformity, % | Comment | ||||||||||||||
3 | Min | Max | Min | Max | ||||||||||||||
4 | Date | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | Thickness Uniformity, % | ||||||||||||
5 | 12-09-14 | 2403.41 | 2378.21 | 1.943 | 1.944 | 99.47 | Thicker in the center | |||||||||||
6 | 12-23-14 | 2329.27 | 2341.32 | 1.933 | 1.924 | Thinner in the center | ||||||||||||
7 | 01-14-15 | 2307.93 | 2294.72 | 1.939 | 1.934 | 99.71 | Thicker in the center | |||||||||||
8 | 02-09-15 | 2327.77 | 2344.69 | 1.937 | 1.932 | Thinner in the center | ||||||||||||
9 | 02-23-15 | 2326.31 | 2301.28 | 1.936 | 1.937 | 99.46 | Thicker in the center | |||||||||||
10 | 04-06-15 | 1993.70 | 1879.76 | 1.951 | 1.954 | 97.06 | Thicker in the center | |||||||||||
11 | 04-17-15 | 2431.70 | 2317.11 | 1.937 | 1.939 | 97.59 | Thicker in the center | |||||||||||
12 | 05-11-15 | 2473.99 | 2465.45 | 1.936 | 1.937 | 99.83 | Thicker in the center | |||||||||||
13 | 05-13-15 | 2469.55 | 2415.01 | 1.939 | 1.941 | 98.88 | Thicker in the center | |||||||||||
14 | 05-28-15 | 2453.39 | 2447.17 | 1.943 | 1.943 | 99.87 | Thicker in the center | |||||||||||
15 | 06-15-15 | 2164.31 | 2152.38 | 1.943 | 1.946 | 99.72 | Thicker in the center | |||||||||||
16 | 10-02-15 | 2372.41 | 2475.58 | 1.943 | 1.941 | Thinner in the center | ||||||||||||
17 | 11-06-15 | 2091.54 | 2142.00 | 1.952 | 1.950 | Thinner in the center | ||||||||||||
18 | 11-10-15 | 2101.29 | 2155.06 | 1.954 | 1.955 | Thinner in the center | ||||||||||||
19 | 11-16-15 | 2160.84 | 2213.94 | 1.947 | 1.947 | Thinner in the center | ||||||||||||
20 | 11-18-15 | 2143.35 | 2165.69 | 1.950 | 1.949 | Thinner in the center | ||||||||||||
21 | ||||||||||||||||||
22 | Average | 2284.42 | 2280.59 | 1.943 | 1.942 | 99.07 | ||||||||||||
23 | Avg.+2% | 2330.11 | 2326.20 | 1.981 | 1.981 | |||||||||||||
24 | Avg-2% | 2238.73 | 2234.97 | 1.904 | 1.903 | |||||||||||||
25 | Max | 2473.99 | 2475.58 | 1.954 | 1.955 | 99.87 | ||||||||||||
26 | Min | 1993.70 | 1879.76 | 1.933 | 1.924 | 97.06 | ||||||||||||
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