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2 | Thickness, (Å) | Index @632.8nm | Comment | |||||||||||||
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4 | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | ||||||||||||
5 | Date | Max | Min | Max | Min | Thickness Uniformity % | ||||||||||
6 | 11-02-18 | 3019.58 | 2,915.13 | 1.462 | 1.459 | 98.24 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
7 | 01-22-19 | 3135.13 | 3,059.47 | 1.462 | 1.461 | 98.78 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
8 | 02-12-19 | 3061.59 | 2,887.75 | 1.459 | 1.459 | 97.08 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
9 | 03-15-19 | 3168.39 | 3,111.40 | 1.459 | 1.459 | 99.09 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
10 | 04-02-19 | 3068.40 | 2,939.10 | 1.468 | 1.464 | 97.85 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
11 | 05-03-19 | 3069.50 | 2,986.60 | 1.461 | 1.459 | 98.63 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
12 | 06-03-19 | 2990.39 | 2,801.33 | 1.463 | 1.461 | 96.74 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
13 | 08-06-19 | 3122.23 | 2,823.37 | 1.461 | 1.458 | 94.97 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
14 | 09-17-19 | 3152.20 | 2,953.90 | 1.466 | 1.464 | 96.75 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
15 | 10-08-19 | 3169.80 | 2,827.90 | 1.462 | 1.459 | 94.30 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
16 | 11-04-19 | 3165.06 | 3,039.10 | 1.467 | 1.467 | 97.97 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
17 | 12-02-19 | 3201.70 | 3,019.22 | 1.468 | 1.466 | 97.07 | Film thicker in the center, not uniform | |||||||||
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19 | Average: | 3,087.49 | 2,942.00 | 1.462 | 1.460 | 97.57 | ||||||||||
20 | Avg +2% | 3,149.24 | 3,000.84 | 1.492 | 1.490 | |||||||||||
21 | Avg-2% | 3,025.74 | 2,883.16 | 1.433 | 1.431 | |||||||||||
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23 | Max | 3,168.39 | 3,111.40 | 1.468 | 1.464 | 99.09 | ||||||||||
24 | Min | 2,990.39 | 2,801.33 | 1.459 | 1.458 | 94.97 | ||||||||||
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