A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N | O | P | Q | R | S | T | U | V | W | X | Y | Z | AA | AB | AC | AD | AE | |
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1 | (depends on tech node)** | DO NOT EDIT | |||||||||||||||||||||||||||||
2 | Die Size (cm2) | Mean Defect Density D0 (defects/cm2) | Poisson Model | Murphy: Even Distribution | Murphy: Triangle Distribution | Seeds Model | # of crit layers | Defect Density DD (defects/inch2/layer) | Defect Density DD (defects/cm2/layer) | Bose-Einstein Model | |||||||||||||||||||||
3 | 1 | 0.001 | 99.9% | 99.9% | 99.9% | 99.9% | 35.5 | 0.001 | 0.01 | 96.5% | |||||||||||||||||||||
4 | 0.05 | 95.1% | 95.2% | 95.1% | 95.2% | 0.002 | 0.01 | 93.2% | |||||||||||||||||||||||
5 | 0.1 | 90.5% | 90.6% | 90.6% | 90.9% | 0.003 | 0.02 | 89.9% | |||||||||||||||||||||||
6 | 0.15 | 86.1% | 86.4% | 86.2% | 87.0% | 0.004 | 0.03 | 86.8% | |||||||||||||||||||||||
7 | 0.2 | 81.9% | 82.4% | 82.1% | 83.3% | 0.005 | 0.03 | 83.8% | |||||||||||||||||||||||
8 | 0.25 | 77.9% | 78.7% | 78.3% | 80.0% | 0.006 | 0.04 | 80.9% | |||||||||||||||||||||||
9 | 0.3 | 74.1% | 75.2% | 74.6% | 76.9% | 0.007 | 0.05 | 78.1% | |||||||||||||||||||||||
10 | 0.35 | 70.5% | 71.9% | 71.2% | 74.1% | 0.008 | 0.05 | 75.4% | |||||||||||||||||||||||
11 | 0.4 | 67.0% | 68.8% | 67.9% | 71.4% | 0.009 | 0.06 | 72.8% | |||||||||||||||||||||||
12 | 0.45 | 63.8% | 65.9% | 64.8% | 69.0% | 0.010 | 0.06 | 70.2% | |||||||||||||||||||||||
13 | 0.5 | 60.7% | 63.2% | 61.9% | 66.7% | 0.011 | 0.07 | 67.8% | |||||||||||||||||||||||
14 | 0.55 | 57.7% | 60.6% | 59.2% | 64.5% | 0.012 | 0.08 | 65.5% | |||||||||||||||||||||||
15 | 0.6 | 54.9% | 58.2% | 56.5% | 62.5% | 0.013 | 0.08 | 63.2% | |||||||||||||||||||||||
16 | 0.65 | 52.2% | 56.0% | 54.1% | 60.6% | 0.014 | 0.09 | 61.0% | |||||||||||||||||||||||
17 | 0.7 | 49.7% | 53.8% | 51.7% | 58.8% | 0.015 | 0.10 | 58.9% | |||||||||||||||||||||||
18 | 0.75 | 47.2% | 51.8% | 49.5% | 57.1% | 0.016 | 0.10 | 56.9% | |||||||||||||||||||||||
19 | 0.8 | 44.9% | 49.9% | 47.4% | 55.6% | 0.017 | 0.11 | 55.0% | |||||||||||||||||||||||
20 | 0.85 | 42.7% | 48.1% | 45.4% | 54.1% | 0.018 | 0.12 | 53.1% | |||||||||||||||||||||||
21 | 0.9 | 40.7% | 46.4% | 43.5% | 52.6% | 0.019 | 0.12 | 51.3% | |||||||||||||||||||||||
22 | 0.95 | 38.7% | 44.8% | 41.7% | 51.3% | 0.020 | 0.13 | 49.5% | |||||||||||||||||||||||
23 | 1 | 36.8% | 43.2% | 40.0% | 50.0% | 0.021 | 0.14 | 47.8% | |||||||||||||||||||||||
24 | |||||||||||||||||||||||||||||||
25 | ** trying getting ARIMA | ||||||||||||||||||||||||||||||
26 | numbers from this link | ||||||||||||||||||||||||||||||
27 | 5nm = 35.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||
28 | 7nm = 32.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||
29 | (some examples) | ||||||||||||||||||||||||||||||
30 | |||||||||||||||||||||||||||||||
31 | |||||||||||||||||||||||||||||||
32 | |||||||||||||||||||||||||||||||
33 | |||||||||||||||||||||||||||||||
34 | |||||||||||||||||||||||||||||||
35 | |||||||||||||||||||||||||||||||
36 | |||||||||||||||||||||||||||||||
37 | |||||||||||||||||||||||||||||||
38 | |||||||||||||||||||||||||||||||
39 | |||||||||||||||||||||||||||||||
40 | |||||||||||||||||||||||||||||||
41 | |||||||||||||||||||||||||||||||
42 | |||||||||||||||||||||||||||||||
43 | |||||||||||||||||||||||||||||||
44 | fi | ||||||||||||||||||||||||||||||
45 | |||||||||||||||||||||||||||||||
46 | |||||||||||||||||||||||||||||||
47 | |||||||||||||||||||||||||||||||
48 | |||||||||||||||||||||||||||||||
49 | |||||||||||||||||||||||||||||||
50 | |||||||||||||||||||||||||||||||
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53 | |||||||||||||||||||||||||||||||
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94 | |||||||||||||||||||||||||||||||
95 | |||||||||||||||||||||||||||||||
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100 |