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1 | UC Berkeley Marvell NanoLab Wafer Specs | |||||||||||||||||||||||||
2 | NL Sku | Size | Desc | Type | Orientation | Resistivity | Grade | Thickness | Finish: | Flats | surface roughness | contamination / particles | S/D "scratch dig" | Bow/Warp | TTV | Transmission | ||||||||||
3 | 70255 | 4 | P-Type Test, virgin Si | P | 1-0-0 | 1-50 ohm cm | Test | 475-575 µm | SSP | 2 semi std flats | ||||||||||||||||
4 | 70252 | 4 | P-Type Prime, virgin Si | P | 1-0-0 | 10-30 ohm cm | Prime | 500-550 µm | SSP | 2 semi std flats | ||||||||||||||||
5 | 70251 | 4 | N-Type Prime, virgin Si | N | 1-0-0 | 1-20 ohm cm | Prime | 500-550 µm | SSP | 2 semi std flats | ||||||||||||||||
6 | 70250 | 4 | P-Type, virgin Si | P | 1-0-0 | 5-10 ohm-cm | Prime | 525±25µm | DSP | 2 semi flats | ||||||||||||||||
7 | 70384 | 6 | P-Type, virgin Si | P | 1-0-0 | 1-10 ohm-cm | Prime | 675±25µm | DSP | 1 semi std primary flat | ||||||||||||||||
8 | 70259 | 6 | P-Type Test, virgin Si. **Transitioning to NL Specific sequential scribing** | P | 1-0-0 | 1-50 ohm cm | Test | 600-700 um | SSP | 1 semi std primary flat | <5A | >0.3μm: <=20 | ≤40μm | TTV≤ 10μm | ||||||||||||
9 | 70257 | 6 | P-Type Prime, virgin Si. **Transitioning to NL Spesific sequential scribing** | P/B | 1-0-0 | 10-30 ohm cm | Prime | 650-700 µm | SSP | 1 semi std primary flat | <2A | >0.3μm: <=20 | ≤40μm | TTV≤ 10μm | ||||||||||||
10 | 70256 | 6 | N-Type Prime, virgin Si | N | 1-0-0 | 10-30 ohm cm | Prime | 650-700 µm | SSP | 1 semi std primary flat | ||||||||||||||||
11 | 70415 | 8 | P-Type TEST, Virgin Si. **Transitioning to SEMI M13 LASERMARK ON BACKSIDE** | P/B | 1-0-0 | 1-100 ohm-cm | TEST | 725±25μm | SSP | One semi Notch | ≤0.5nm | >0.3μm: <=10 | ≤40μm | TTV≤ 10μm | ||||||||||||
12 | 70416 | 8 | P-Type PRIME, Virgin Si - **Transitioning to Semi M13 - FRONT SIDE LASER MARK** | P/B | 1-0-0 | 10-30 ohm-cm | PRIME | 725±25μm | SSP | One semi Notch | ≤0.5nm | ≤50@0.16μm | ≤40μm | TTV≤ 5μm | ||||||||||||
13 | 70253 | 4 | Fused Silica | Prime | 500±25μm | DSP w/ Bevel | 1 semi std primary flat 32.5± 2mm | 40/20 | ≤20μm | ≤5μm | JGS2 | |||||||||||||||
14 | 70360 | 6 | Fused Silica | Prime | 500±25μm | DSP w/ Bevel | 1 semi std primary flat | 40/20 | ≤40µm | ≤10µm | JGS2 | |||||||||||||||
15 | 70261 | 4 | BoroFloat | Prime | 500±25μm | DSP, rounded edge | 1 semi std primary flat, 32.5 ± 2 mm | 40/20 | ≤15µm | ≤5µm | ||||||||||||||||
16 | 70348 | 6 | BoroFloat | Prime | 500±25μm | DSP w/ Bevel | 1 semi std primary flat, 57.5± 2mm | 40/20 | ≤25µm | ≤10µm | ||||||||||||||||
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18 | Note: NanoLab offers wafers with one major flat (SEMI standard) due to the fact that the majority of our automated equipment are set up to accept wafers with single flat, only (no minor flat). | |||||||||||||||||||||||||
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