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4 | 4.20 - Intensity & Power Measurements on Ksaligner | ||||||||||||||||
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6 | Description: | This monitor tracks lamp intensity and power on ksaligner. Measurements include center, top, flat, right, and left intensity readings taken with a handheld intensity meter. These readings are used to calculate a 5-point mean and lamp uniformity. In adition, data is compared to the lamp intensity displayed on the tool's power supply. The lamp opperates under constant intensity mode; the power supply controls the power to the lamp to maintain constant intensity. Lamp power during an exposure test is recorded and compared for i-line and g-line. Data is used to adjust ksaligner's lamp settings; notes for these changes are recorded in process performance section. | Process Performance | ||||||||||||||
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8 | Tool: | KSALIGNER | |||||||||||||||
9 | Meter: | G & R Labs Model 202 Intensity Meter | |||||||||||||||
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11 | Process Procedure | ||||||||||||||||
12 | Step | Description | |||||||||||||||
13 | 4.20.1 - Tool setup | Check the power supply, set it to i-line constant intensity mode and measure the intensity. Switch to g-line constant intensity mode and measure the intensity. | |||||||||||||||
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15 | 4.20.2 - Lamp Test | Measure and record the lamp intensity with the handheld intensity meter using a 5-point measurement at 5 cm intervals. Record the power supply's in situ reading. Check the power output for the lamp during the i-line and g-line lamp tests. | |||||||||||||||
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17 | 4.20.3 - Analysis | Calculate the 5-point mean. Calculate the lamp uniformity using Uniformity = (max reading - min reading)/(max reading + min reading) x 100 | |||||||||||||||
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20 | Output Response | ||||||||||||||||
21 | Response | Description | Target | Upper Limit | Lower Limit | ||||||||||||
22 | i-line (365 nm) Intensity (mW/cm²) | Comparison of the 5-point mean intensity and power supply intensity readings for i-line. | 15 | 17 | 13 | ||||||||||||
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24 | g-line (436 nm) Intensity (mW/cm²) | Comparison of the 5-point mean intensity and power supply intensity readings for g-line. | 12 | 14 | 10 | ||||||||||||
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26 | Lamp Power (W) | Power output of the lamp during the i-line and g-line lamp tests. | 900 | 1200 | 600 | ||||||||||||
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