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1 | |||||||||||||||||
2 | Thickness, A | Index @632.8nm | Thickn. Uniformity, % | ||||||||||||||
3 | Min | Max | Min | Max | Comment/Mike SIlva | ||||||||||||
4 | Date | center of wafer | 1cm from edge | center of wafer | 1cm from edge | Thickness Uniformity, % | |||||||||||
5 | 01-17-14 | 2845.67 | 2855.29 | 1.472 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
6 | 01-30-14 | 2762.42 | 2792.91 | 1.474 | 1.474 | Thinner in the center | |||||||||||
7 | 02-03-14 | 2772.81 | 2795.84 | 1.473 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
8 | 02-18-14 | 2772.60 | 2775.38 | 1.473 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
9 | 03-12-14 | 2776.83 | 2778.50 | 1.473 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
10 | 04-03-14 | 2855.11 | 2863.15 | 1.470 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
11 | 04-25-14 | 2777.35 | 2778.07 | 1.473 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
12 | 05-12-14 | 2960.15 | 2934.34 | 1.475 | 1.474 | 99.56 | Thicker in the center | ||||||||||
13 | 05-20-14 | 2993.19 | 2970.95 | 1.479 | 1.475 | 99.63 | Thicker in the center | ||||||||||
14 | 06-04-14 | 2936.83 | 2950.73 | 1.477 | 1.477 | Thinner in the center | |||||||||||
15 | 06-17-14 | 2890.48 | 2907.75 | 1.475 | 1.473 | Thinner in the center | |||||||||||
16 | 07-29-14 | 2841.86 | 2824.80 | 1.474 | 1.474 | 99.70 | Thicker in the center | ||||||||||
17 | 08-14-14 | 2849.47 | 2863.96 | 1.474 | 1.474 | Thinner in the center | |||||||||||
18 | 08-27-14 | 2825.41 | 2843.52 | 1.474 | 1.475 | Thinner in the center | |||||||||||
19 | 09-15-14 | 2834.02 | 2846.59 | 1.477 | 1.478 | Thinner in the center | |||||||||||
20 | 09-29-14 | 2781.49 | 2799.03 | 1.475 | 1.475 | Thinner in the center | |||||||||||
21 | 10-06-14 | 2958.68 | 2940.87 | 1.477 | 1.478 | 99.70 | Thicker in the center | ||||||||||
22 | 10-14-14 | 2906.43 | 2903.64 | 1.476 | 1.476 | 99.95 | Thicker in the center | ||||||||||
23 | 11-05-14 | 2976.11 | 2972.01 | 1.475 | 1.475 | 99.93 | Thicker in the center | ||||||||||
24 | 11-26-14 | 2947.69 | 2931.44 | 1.476 | 1.476 | 99.72 | Thicker in the center | ||||||||||
25 | 12-09-14 | 2957.08 | 2962.30 | 1.476 | 1.476 | Thinner in the center | |||||||||||
26 | 12-23-14 | 2939.95 | 2931.22 | 1.474 | 1.476 | 99.85 | Thicker in the center | ||||||||||
27 | Average: | 2870.98 | 2873.74 | 1.475 | 1.475 | 99.76 | Silane gets lower- film thinner in center | ||||||||||
28 | Avg.+2% | 2928.40 | 2931.22 | 1.504 | 1.504 | ||||||||||||
29 | Avg.-2% | 2813.56 | 2816.27 | 1.445 | 1.445 | ||||||||||||
30 | Max | 2993.19 | 2972.01 | 1.479 | 1.478 | 99.95 | |||||||||||
31 | Min | 2762.42 | 2775.38 | 1.470 | 1.473 | 99.56 | |||||||||||
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