Equipement de Mélange / Distribution
Système de Mélange / Distribution de slurry pour l’industrie des semi-conducteurs
Large base installée sur lignes de production
Points-forts
- Volume et ratio de mélange programmables
- Répétabilité mélange : 1% pleine échelle
- Distribution continue
- Débit et pression constants
- Boucle de recirculation permanente
- Encombrement optimisé
- Rinçage et vidange automatiques
- Mesure massique ou volumique
Sécurité
- Interlock
- Détecteur fût vide
- Bac de rétention
- Alarmes visuelles et sonore
- Détecteur de fuites
- Extraction
- Conforme aux normes
Interface
- Ecran de contrôle tactile
- Plusieurs modes : Process, Maintenance, Paramétrage
- Messages d’alertes retranscrits directement sur l’écran tactile
Options
- Contrôle de concentration de slurry en ligne
- Echantillonnage
- Connexion réseau Ethernet
- FM4910
Structure
- Compatible avec tous les slurry (agressif, oxydant, PH faible)
- Compatible fûts multi-marques
- Utilisation des équipements furon/asti
EDS : L’évolution contrôlée
04.76.51.94.72 - contact@edsolution.fr