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半導體製程設備學分學程�SEMICONDUCTOR PROCESS EQUIPMENT PROGRAM

  • 本學程乃與台灣積體電路公司(TSMC)合作，透過引進半導體產線上之工程師擔任業師，介紹並使學生了解半導體儀器與設備相關技術以及發展趨勢，並鏈結各工程領域與半導體產業之知識及人才。學程之設計乃培育本校學生之半導體設備專業知能，使學生能於畢業後順利進入半導體廠擔任設備工程師。��
  • 修課學生採用線上申請方式進行本學程，並於下列科目中完成課程之學習，依規定修滿48 學分後取得學分學程學位。本課程為縮短產業與學術間之落差，學程中之中半導體製程設備必修課程特別邀請TSMC資深業師授課，同學可以直接面對業界主管，學得最新的半導體發展觀念。�

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中山<半導體製程設備與技術>

  • 開課系所：機電系
  • 授課老師：林哲信 教授
  • 合作台積單位：F18A
  • 課程概述與目標：

介紹並使學生了解半導體儀器與設備相關技術以及發展趨勢，並鏈結各工程領域與半導體產業之知識及人才。

  • 課號：MEME5111
  • 上課時間: Fri. 14:00 – 17:00
  • 上課教室: 工EN4055-1

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週次

上課日期

課程進度、內容、主題

授課講師

1

9/24

課程簡介

林哲信 教授

2

10/1

先進自動化工廠運作

洪明欣 部經理

林書弘 副理

3

10/8

半導體產業趨勢&製造流程

賴振群 部經理

4

10/15

乾式蝕刻製程設備與技術

陳益弘 部經理

5

10/22

AI 自動化在半導體設備的應用

黃泰郎 經理

6

10/29

超大型半導體工廠廠務系&綠建築與節能

莊子壽 副總經理

江世雄 副處長

7

11/5

濕式蝕刻製程設備與技術

毛賢為 部經理

8

11/12

爐管及離子佈值製程設備與技術

陳彥行 部經理 (中山校友)

9

11/19

期中考

林哲信 教授

10

11/26

先進量測設備與技術

郭展綱 經理

11

12/3

光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (一)

柯建州 部經理

12

12/10

光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (二)

黃靜茹 部經理

13

12/17

化學氣相沉積製程設備與技術

孫錦峰 部經理

14

12/24

物理氣相沉積製程設備與技術

王喻生 部經理

15

12/31

國定假日

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16

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平坦化製程設備與技術

林世和 部經理

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期末考

林哲信 教授

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