Le MEBE est  couplé à un système de micro-analyse par dispersion d'énergie (EDS) (ThermoFisher Scientific). Il permet les analyses chimiques (ponctuelles ou cartes de répartition) non destructives d'échantillons variés (sols, sédiments, roches...).

Caractéristiques Techniques
- Filament de tungstène
- Tension 200 V à 30 kV
- Platine pseudo-eucentrique 5 axes 50 mm x 50 mm (tilt jusqu’à 70°)
- Caméra infrarouge intégrée
- Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley (rés. 3 nm @ 30 kV & 10 nm @ 3 kV)
- Détecteur d’électrons rétrodiffusés à semi-conducteur (rés. 5 nm @ 30 kV)

- EDS SDD 10 mm² : analyses qualitatives et quantitatives, cartographies) / Détection des éléments à partir du Bore, résolution < 130 eV