第19回MEMS集中講義 参加申込
日時: 2021 年 8月2日(月)~ 8月4日(水)
開催方法: オンライン(YouTubeライブ配信、アーカイブ配信)
主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
共催: 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク融合技術支援センター
参加費: 無料
お問い合わせ: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 庄子留美子
E-mail: rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp  Tel. 022-305-2351

プログラム 
8月2日(月)
  9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎]
 13:00-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎]
 16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城]
 
8月3日(火)
  9:00-10:30 触覚センサ等ロボット応用とLSI [室山真徳]
 10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COIプロジェクト成果紹介 [吉田慎哉]
 13:00-14:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]
 14:40-15:50 MEMSの新しい話題 [田中秀治]  
 16:00-17:00 Microsensors based on the stress impedance effect [Joerg Froemel]

8月4日(水)
  9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人]
 10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan]
 11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡(MRFM) [戸田雅也]
 13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用~細胞の温度計測~  [猪股直生]
 14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]
 15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明]
 16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 [森山雅昭]


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